| 发明名称 | 一种铁电溶液及其薄膜电容制备的方法 | ||
| 摘要 | 本发明属微电子技术领域，涉及一种铁电溶液及其薄膜电容制备的方法。本发明在制备先体溶液时，加入一定过量的铅原料，并配合一定的工艺流程，通过过量的铅抵消在制备铁电薄膜时的铅挥发，从而提高铁电薄膜的电学性能。所述前驱液由Pb、Zr、Ti的水解物的聚集物生成Pb1+xZryTi1-yO3(PZT)溶液，通过旋涂淀积在衬底上，后通过干化、热解、高温退火生成钙钛矿晶体结构的铁电薄膜，并在此基础上制作成铁电电容。本方法能克服现有技术中PZT铁电薄膜在高温结晶时发生铅挥发，导致铁电薄膜电学性能下降，使铁电电容的存储性能下降的缺陷，能明显提高铁电存储器(FERAM)的存储特性。 | ||
| 申请公布号 | CN101891468A | 申请公布日期 | 2010.11.24 |
| 申请号 | CN200910051878.7 | 申请日期 | 2009.05.22 |
| 申请人 | 复旦大学 | 发明人 | 陈志辉;沈臻魁;万海军;江安全 |
| 分类号 | C04B35/472(2006.01)I;H01G4/33(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | C04B35/472(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人 | 包兆宜 |
| 主权项 | 一种铁电溶液制备的方法，其特征在于，按Pb1+xZryTi1‑yO3(PZT)化学配比：Pb∶Zr∶Ti＝(1+x)∶y∶(1‑y)，添加Pb、Zr、Ti等起始原料，混合反应生成铁电溶液，其包括如下步骤：(1)按化学配比1.3∶1称过量的三水合醋酸铅溶解于甲醇溶剂中，加热到70℃脱水，并搅拌，得到醋酸铅溶液；(2)在密封箱中以所需的Pb/Zr/Ti化学配比将锆的醇盐和钛的醇盐混合，随后加入乙酸，甲醇溶剂，在室温下搅拌2个小时；(3)将上述二元混合溶液加入醋酸铅溶液中，加热到80℃，搅拌混合3个小时，形成三元溶液，(4)将上述三元溶液以加入乙二醇稳定剂，用乙酸或甲醇定容。 | ||
| 地址 | 200433 上海市邯郸路220号 | ||