发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE PROVIDED WITH THREE DIMENSIONAL CHANNEL
摘要
申请公布号 KR100996246(B1) 申请公布日期 2010.11.23
申请号 KR20030048852 申请日期 2003.07.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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