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发明名称 DEPOSITION OF TERNARY OXIDE FILMS CONTAINING RUTHENIUM AND ALKALI EARTH METALS
摘要
申请公布号 KR20100122960(A) 申请公布日期 2010.11.23
申请号 KR20107023776 申请日期 2009.03.26
申请人 L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 GATINEAU SATOKO;GATINEAU JULIEN;DUSSARRAT CHRISTIAN
分类号 C23C16/40;C23C16/44;C23C16/56;H01L21/205 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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