| 主权项 |
一种晶圆夹具，以固定放置在一操作机台上的一晶圆，该晶圆夹具包含：一环形的顶座；一顶壁，包括一自该顶座之内侧缘向环形中心延伸的主体部及多数个延伸部，所述延伸部相间隔地自该主体部之内侧缘向环形中心延伸；一侧壁，自该顶座之内侧缘向下延伸，并与该顶壁相配合界定出一容置该晶圆的容置空间；多数个顶壁间隔块，位置与所述延伸部相对应且自该顶壁向下凸伸，使该晶圆的顶面与该顶壁相间隔；及三个以上侧壁间隔块，相间隔地由该侧壁表面往环形中心凸伸，使该晶圆的周缘与该侧壁相间隔。依据申请专利范围第1项所述之晶圆夹具，还包含至少一个自该顶座之底面与该侧壁同轴地向下延伸的定位壁，以配合定位在该操作机台上。依据申请专利范围第2项所述之晶圆夹具，其中，该定位壁之数量为三。依据申请专利范围第2项所述之晶圆夹具，其中，所述侧壁间隔块由相邻该顶壁侧往下收敛而具有朝向环形中心之一斜面。依据申请专利范围第4项所述之晶圆夹具，其中，所述延伸部的数量及位置与所述侧壁间隔块相对应。依据申请专利范围第1至5项中任一项所述之晶圆夹具，其中，所述侧壁间隔块沿环形中心等角度地分布于该侧壁。 |
