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发明名称 AN IMMERSION LITHOGRAPHIC APPARATUS AND A DEVICE MANUFACTURING METHOD.
摘要
申请公布号 NL2004547(A) 申请公布日期 2010.11.18
申请号 NL20102004547 申请日期 2010.04.13
申请人 ASML NETHERLANDS B.V., 发明人 METSENAERE, CHRISTOPHE;KUNST, RONALD;BERKVENS, PAUL;SCHNEIDERS, MAURITIUS;WINKEL, JIMMY;CORCORAN, GREGORY
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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