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发明名称 MIKROMECHANISCH HERGESTELLTER ABSOLUTDRUCKSENSOR
摘要
申请公布号 DE60143202(D1) 申请公布日期 2010.11.18
申请号 DE20016043202 申请日期 2001.07.20
申请人 HOSPIRA INC. 发明人 CHO, STEVE T.
分类号 G01L9/12;B81B3/00;B81C1/00;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
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