Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Reflexionskoeffizienten an Filteranordnung mit dünnen Schichten

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung optischer Eigenschaften durch Messung von Intensitäten an einer dünnen Schicht, bei dem Licht auf einen zumindest teilweise transparenten Träger eingestrahlt wird, der die dünne Schicht aufweist. Es werden Interferenzen an der zumindest einen dünnen Schicht als relative Intensität von zumindest einer Superpositionswelle, wahlweise unter Verwendung von dafür vorgesehenen Filteranordnungen gemessen, und anschließend der oder die Reflexions- und/oder Transmissionskoeffizienten von der Reflexion und/oder Transmission an der dünnen Schicht bestimmt. Vorzugsweise wird die Intensität von zumindest zwei Superpositionswellen gemessen. Das Licht kann direkt auf den Träger eingestrahlt werden. Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur Bestimmung optischer Eigenschaften durch Messung von Intensitäten an einer dünnen Schicht. Diese umfaßt eine Auswerteeinheit, in der zumindest eine Lookup-Tabelle gespeichert ist. Die Verwendung ist vorzugsweise im Bereich des Heimatschutzes vorgesehen.