一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器

摘要

一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器，克服了现有技术上出气管置于下出气管之中冷却效果不好，以及下出气管置于冷却腔中易产生水腐蚀，影响产品使用寿命的技术问题，特征是包括有气盒和水冷盒，在气盒下盖上加工有直接起下层气导管作用的下层气导气孔，上层气导管置于下层气导气孔中，在气盒下面安装有与气盒相接触的水冷盒，在水冷盒上加工有与气盒上的上层气导管和下层气导气孔相对应的起喷气孔作用的水冷导气管，在水冷盒外侧安装有气帘套筒，有益效果是，上层气和下层气两层气体在送入反应室之前共同经过水冷盒直接冷却，保证了两层气体冷却效果，且结构简单，加工方便，可以制成大尺寸的喷雾器，提高了使用效率和产品的使用寿命。

主权项

一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器，包括有气盒和水冷盒，所述气盒由气盒上盖(3)、气盒隔板(4)和气盒下盖(5)组成，气盒上盖(3)与气盒隔板(4)之间为上气室，气盒隔板(4)与气盒下盖(5)之间为下气室，在气盒上盖(3)上加工有通孔，并在其中安装与上气室连通的上进气管(10)，在气盒上盖(3)和气盒隔板(4)对应位置上加工有通孔，并在其中安装与下气室连通的下进气管(11)，在气盒隔板(4)与气盒下盖(5)对应位置上加工有通孔，并在其中安装上层气导管(15)，其特征在于，在气盒下盖(5)上加工有直接起下层气导管作用的下层气导气孔(16)，所述上层气导管(15)置于下层气导气孔(16)中，在所述气盒下面安装有与气盒相接触的水冷盒，所述水冷盒由水冷盒上盖(12)和水冷盒下盖(13)组成，在水冷盒上加工有与气盒上的上层气导管(15)和下层气导气孔(16)相对应的起喷气孔作用的水冷导气管(14)，在水冷盒上盖(12)上连接有进水管(2)和出水管(8)。