粘性卡盘和衬底贴合设备

摘要

一种衬底贴合设备，包括：第一室，包括其上支承第一衬底的第一表面板；与所述第一室相分隔的第二室，包括其上支承将要贴合到所述第一衬底的第二衬底的第二表面板；设置在所述第一表面板上的粘性模块，包括保持所述第一衬底的多个粘性橡胶区域；以及升降模块，用于升起所述多个粘性橡胶区域中的至少一个。

主权项

一种衬底贴合设备，包括：第一室，包括其上支承第一衬底的粘性卡盘，该粘性卡盘设置在所述第一室的第一表面板上；与所述第一室相分隔的第二室，包括其上支承将要贴合到所述第一衬底的第二衬底的衬底卡盘，该衬底卡盘设置在所述第二室的第二表面板上；升降器，用于支承并上下移动所述第一室；其中，所述第一室包括多个真空卡盘，这些真空卡盘穿过所述第一表面板并且上下运动；所述第二室包括多个升降销，这些升降销穿过所述第二表面板并且上下运动；所述粘性卡盘包括多个粘性模块和升降模块；每个粘性模块包括板、固定到所述板的第一粘性橡胶区域和连接到所述板以由所述升降模块上下移动的第二粘性橡胶区域。