湿法腐蚀制备精细金属掩膜漏板的方法

摘要

湿法腐蚀制备精细金属掩膜漏板的方法，涉及真空镀精细图形镀膜的过程中的掩膜漏板的加工领域，它解决了现有采用化学腐蚀的方法制备金属掩板尺寸误差大，并且在加工过程中金属掩膜漏板容易发生侧腐的问题，本发明方法为：首先选择铁铬合金薄片作为金属掩膜漏板基材，其次对所述的金属基材双面蒸镀不同的金属材料，再次采用光刻方法实现双面精确紫外曝光，最后通过自制的具有选择性腐蚀特性的化学腐蚀液进行腐刻，实现金属掩膜漏板的精细加工。本发明所述的方法能够制备出高精细的图形完整的金属掩膜漏板。本发明适用于精细金属掩膜漏板的制备领域。

主权项

湿法腐蚀制备精细金属掩膜漏板的方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：步骤一、选取铁铬合金薄片(1)作为金属掩膜漏板的基材；步骤二、对步骤一选取的铁铬合金薄片(1)进行表面处理，然后采用烤箱将所述铁铬合金薄片(1)烘干，获得处理后的铁铬合金薄片(1)；步骤三、采用真空镀膜的方法将步骤二获得的铁铬合金薄片(1)一面蒸镀金属钛(2)，另一面蒸镀金属镍铬(3)；获得双面镀膜的铁铬合金薄片(1)；步骤四、采用匀胶机将步骤三获得的双面镀膜的铁铬合金薄片(1)双面旋涂光刻胶(4)，获得带有光刻胶图形的铁铬合金薄片(1)；步骤五、采用自制的腐蚀液对步骤四所述的铁铬合金薄片(1)、金属钛(2)和金属镍铬(3)进行腐蚀，获得金属掩膜漏板。