一种基于合成波长的激光波长测量装置

摘要

本实用新型公开了一种基于合成波长的激光波长测量装置。选用一个波长稳定度较高的激光器作为参考激光器，参考激光器的光束和待测激光器的光束被调制为正交线偏振光后，入射同一迈克尔逊干涉仪，分别形成各自的干涉信号。当迈克尔逊干涉仪中的测量臂移动时，参考光和待测光的干涉信号的相位关系将发生变化，当这两路干涉信号的相位差变化2π时对应于测量臂移动半个由参考光和待测光形成的合成波长的位移。通过检测两路干涉信号两次同时过零点位置便可测得合成波长值，根据待测激光波长和参考激光波长与合成波长之间的关系，即可得到待测激光的波长值。本实用新型具有较强的环境抗干扰能力，波长测量精度可以达到10-8以上，成本低，易于实用化。

主权项

一种基于合成波长的激光波长测量装置，其特征在于：参考激光器(1)输出的光束经过透振方向平行于纸面的第一检偏器(2)后成为平行于纸面的线偏振光λR，射向第一偏振分光镜(6)；待测激光器(3)输出的光束经过透振方向垂直于纸面的第二检偏器(4)后成为垂直于纸面的线偏振光λU，经反射镜(5)反射后射向第一偏振分光镜(6)；线偏振光λR透过第一偏振分光镜(6)后和线偏振光λU经第一偏振分光镜(6)反射后，合成一束正交线偏振光，入射到由分光镜(8)、第一角锥棱镜(7)和第二角锥棱镜(9)组成的迈克尔逊干涉仪，形成各自的干涉信号，经第二偏振分光镜(10)分光后，分别由第一探测器(11)和第二探测器(12)接收；通过检测两路干涉信号两次同时过零点位置便能测得合成波长值，根据待测激光波长和参考激光波长与合成波长之间的关系，即能得到待测激光的波长值。