RF电源波形显示匹配装置

摘要

本实用新型涉及一种波形显示匹配装置，尤其涉及一种RF电源波形显示匹配装置。RF电源波形显示匹配装置，包括示波器和匹配器，示波器与匹配器用信号线连接，信号线与传输电容并联。本实用新型的优点效果：可以随时监测到RF电源所发射到匹配器的高频信号是否稳定，以此做出对RF电源的控制器做出调整。本实用新型结构简单，实用性强，操作方便，在同轴电缆上并联传输电容，保证了示波器从匹配器得到的信号的稳定性，示波器可随时显示匹配器的波形信号。

主权项

RF电源波形显示匹配器，包括示波器和匹配器，其特征在于示波器与匹配器用信号线连接，信号线与传输电容并联。