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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING APPARATUS AND STRUCTURE THEREIN
摘要
申请公布号
KR100995203(B1)
申请公布日期
2010.11.17
申请号
KR20080025408
申请日期
2008.03.19
申请人
发明人
分类号
H05H1/24
主分类号
H05H1/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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