发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS AND STRUCTURE THEREIN
摘要
申请公布号 KR100995203(B1) 申请公布日期 2010.11.17
申请号 KR20080025408 申请日期 2008.03.19
申请人 发明人
分类号 H05H1/24 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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