带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片及其制备方法

摘要

本发明公开了一种带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片及其制备方法。滤光片为多孔氧化铝薄膜的孔为孔径4 0～60nm的直线型通孔，其孔壁上置有两层以上的分叉孔，分叉孔的孔径为20～40nm，其与直线型通孔间的夹角为50～70度，分叉孔间的直线型通孔构成的主干层和分叉孔构成的分叉层呈周期性变化，薄膜的厚度为60～180μm；滤光片用于500～1500nm波段的光线的过滤；方法为将铝片置于浓度为0.2～0.4M的酸溶液中，于弧齿波电压下阳极氧化至少5min，其中，弧齿波电压的波幅为22～50V、波前沿为45度、波周期为2.5～3.5min，制得带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片，所述的铝片的纯度为≥99.9％，所述的于弧齿波电压下阳极氧化14～20h。它可对500～1500nm波段的光线进行有选择的过滤。

主权项

一种带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片，包括多孔氧化铝薄膜，其特征在于：所述多孔氧化铝薄膜的孔为直线型通孔，所述直线型通孔的孔径为40～60nm，其孔壁上置有两层以上的分叉孔，所述分叉孔的孔径为20～40nm，其与直线型通孔间的夹角为50～70度，所述分叉孔间的直线型通孔构成的主干层和分叉孔构成的分叉层呈周期性变化，所述薄膜的厚度为60～180μm。