发明名称 |
一种介质/金属/介质型纳米结构薄膜及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种介质/金属/介质型纳米结构薄膜,包括:衬底和衬底上依次排列的第一介质层、金属层和第二介质层;所述衬底为单晶硅片、单晶蓝宝石片或石英玻璃片;所述的第一介质层和第二介质层同时为氧化铟层或氧化锌层,厚度为20~100nm;所述的金属层为银层、金层或铝层,厚度为5~40nm;上述纳米结构薄膜既可以采用电子束蒸发法制备,也可以采用磁控溅射法和热蒸发法相结合的方法制备。本发明的介质/金属/介质型纳米结构薄膜,较之于相同介质层厚度的金属/介质型双层结构薄膜,发光增强因子高、使用寿命长,具有广阔的开发前景。 |
申请公布号 |
CN101885468A |
申请公布日期 |
2010.11.17 |
申请号 |
CN201010215670.7 |
申请日期 |
2010.06.30 |
申请人 |
浙江大学 |
发明人 |
邱东江 |
分类号 |
B82B1/00(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I;B32B15/04(2006.01)I |
主分类号 |
B82B1/00(2006.01)I |
代理机构 |
杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 |
代理人 |
胡红娟 |
主权项 |
一种介质/金属/介质型纳米结构薄膜,包括:衬底和衬底上依次生成的第一介质层、金属层和第二介质层;所述衬底为单晶硅片、单晶蓝宝石片或石英玻璃片;所述的第一介质层和第二介质层同时为氧化铟层或氧化锌层,第一介质层的厚度为20~100nm,第二介质层的厚度为20~100nm;所述的金属层为银层、金层或铝层,厚度为5~40nm。 |
地址 |
310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 |