发明名称 |
用于TSV绝缘层的超薄膜湿法制备方法 |
摘要 |
一种微电子材料技术领域的用于TSV绝缘层的超薄膜湿法制备方法。包括:<1>将经过DRIE刻蚀的硅片与导电装置连接为阳极或者阴极系统,作为导电装置接电泳仪器的正极或者负极,构成回路;<2>将与导电装置连接好的硅片放入电泳镀膜溶液中;<3>打开电源开始电泳镀膜;<4>生长完毕后,关闭电源,将硅片从电泳镀膜溶液中取出,用去离子水超声清洗硅通孔,洗去悬浮涂料;<5>将清洗干净的电泳镀膜硅片,进行初次烘干、二次烘干处理。本发明制备出了超薄的绝缘膜,膜厚为1μm-3μm;具有良好的结合力,测试结果表明绝缘膜的击穿电压可达2mV/cm以上;工艺流程可以在低温下操作,镀层生长速度快,工艺成本低。 |
申请公布号 |
CN101886286A |
申请公布日期 |
2010.11.17 |
申请号 |
CN201010236669.2 |
申请日期 |
2010.07.27 |
申请人 |
上海交通大学 |
发明人 |
汪红;李光杨;丁桂甫;姚锦元;吴义伯;杨春生 |
分类号 |
C25D13/06(2006.01)I;C25D13/12(2006.01)I |
主分类号 |
C25D13/06(2006.01)I |
代理机构 |
上海交达专利事务所 31201 |
代理人 |
王锡麟;王桂忠 |
主权项 |
一种用于TSV绝缘层的超薄膜湿法制备方法,其特征在于,包括以下步骤:<1>将经过DRIE刻蚀的硅片与导电装置连接为阳极或者阴极系统,作为导电装置接电泳仪器的正极或者负极,构成回路;<2>将与导电装置连接好的硅片放入电泳镀膜溶液中;<3>打开电源开始电泳镀膜;<4>生长完毕后,关闭电源,将硅片从电泳镀膜溶液中取出,用去离子水超声清洗硅通孔,洗去悬浮涂料;<5>将清洗干净的电泳镀膜硅片,进行初次烘干、二次烘干处理。 |
地址 |
200240 上海市闵行区东川路800号 |