一种精制三氯氢硅的装置

摘要

本实用新型提供一种精制三氯氢硅的装置，只使用一个精馏塔，在精馏塔顶设有冷凝器，在精馏塔底部设有再沸器，在塔顶设有温度计，在侧线设有两个温度计。本实用新型只使用一个精馏塔就可以从还原炉排出的气体中稳定地回收高纯度的二氯硅烷、三氯氢硅的混合物和四氯化硅，和以往必须使用两个或三个精馏塔相比，可以将设备成本和长期成本减半，发生故障的可能性也会减半，因此在制品成本方面的效果很大。

主权项

一种精制三氯氢硅的装置，其特征是只设有一个精馏塔(10)，在精馏塔顶设有冷凝器(11)，在精馏塔底部设有再沸器（12），在塔顶设有温度计a(13)，在侧线设有温度计b(13)和温度计c(13)。