太阳能电池透明导电膜玻璃及其生产方法

摘要

本发明涉及太阳能电池透明导电膜玻璃及其生产方法，其特征在于包括以下步骤：a、在400℃-700℃移动的热玻璃板上方前后设有两套化学气相反应器；b、第一个化学气相反应器向热玻璃板沉积氧化硅的气态前驱物与惰性载气的混合气体；c、第二个化学气相反应器向热玻璃板沉积的是氧化锡的气态前驱物、惰性载气、氟的气态前驱物和辅助反应性气体的混合气体，辅助反应性气体包括水蒸气、低级链烷醇或乙酸乙酯形成的混和物。本发明工艺简单，得到的FTO透明导电膜玻璃具有高透过率、高电导率以及自身绒面结构的特点，在非晶硅(a-Si:H)薄膜太阳能电池中应用极广。

主权项

太阳能电池透明导电膜玻璃，包括玻璃基板(1)和顶层氧化锡薄膜(3)，其特征在于：在玻璃基板(1)上沉积一层厚度为30-150nm、主要成分是氧化锡、氧化硅的中间层薄膜(2)，中间层薄膜(2)上再沉积一层顶层氧化锡薄膜(3)。