制作微机械动件与其金属内连线的方法

摘要

一种制作微机械动件与其金属内连线的方法。首先于一基底上依序利用镀膜工艺一第一金属内连线图案与堆叠于其上的一第二金属内连线图案。接着形成一内金属介电层，并平坦化该内金属介电层直至暴露出该第二金属内连线图案。最后利用镀膜技术于该内金属介电层上制作出至少一与该第二金属内连线图案电连接的微机械动件。

主权项

一种制作微机械动件与其金属内连线的方法，包括：提供基底：于该基底上形成第一牺牲图案，该第一牺牲图案包括多个第一开口；进行第一镀膜工艺，于各该第一开口中形成第一金属内连线图案；去除该第一牺牲图案，接着于该基底与该些第一金属内连线图案上形成第二牺牲图案，该第二牺牲图案包括多个第二开口，暴露出部分该第一金属内连线图案；进行第二镀膜工艺，于各该第二开口中形成第二金属内连线图案；去除该第二牺牲图案；于该基底、该些第一金属内连线图案与该些第二金属内连线图案上形成内金属介电层；由该内金属介电层的表面平坦化该内金属介电层直至暴露出该第二金属内连线图案；以及利用镀膜技术于该内金属介电层上制作出至少一与该第二金属内连线图案电连接的微机械动件。