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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, TRAP APPARATUS, CONTROL METHOD OF SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND CONTROL METHOD OF TRAP APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20100121471(A) 申请公布日期 2010.11.17
申请号 KR20107016797 申请日期 2010.03.01
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 FUKUMORI KOJI
分类号 H01L21/31;B01D53/34;C23C16/44 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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