加热熔罐和包括该加热熔罐的沉积装置

摘要

本发明提供了一种加热熔罐和一种沉积装置，加热熔罐具有均匀的沉积速率和优良的可重复性。该沉积装置的加热熔罐包括：钛主体，具有内腔和开口，内腔用于容纳要被沉积的材料，开口用于喷射要被沉积的材料；导线，用于加热主体；绝缘体，用于使主体与导线绝缘。

主权项

一种加热熔罐，包括：主体，由钛制成，所述主体包括：主体单元，具有能够容纳要被沉积的材料的内腔；盖，具有能够喷射要被沉积的材料的开口；辅助导线，所述辅助导线防止材料沉积在所述盖的开口周围；导线，能够加热所述主体；绝缘体，能够使所述主体与所述导线绝缘，支撑件，支撑所述主体单元，其中，所述支撑件为圆柱形，所述导线在所述支撑件中，所述导线沿着所述支撑件的内壁和外壁从所述支撑件的顶部向下延伸形成多个“U”形，所述绝缘体置于所述主体和所述支撑件之间。