用于传送包含流体的处理材料组合的系统和方法

摘要

不同(例如，浓缩)的处理材料的公共源被可控地供应到与多个处理工具、处理站或者其他使用点相关联的多个混合歧管，以产生用于每个工具、站或者使用点的独立可控的处理材料混合物。多构成的处理材料可以从供应容器通过混合歧管被循环到返回容器，以保证同质，直到在混合和使用之前时为止。这样的容器可以包括基于衬管的容器，其被适配来用于压力分配。

主权项

一种处理材料传送系统，包括：多个第一容器，所述多个第一容器被适配来包含第一处理材料，所述第一处理材料包括至少一个流体；第一循环设备，所述第一循环设备被配置来通过在所述多个第一容器之间的至少一个第一循环流动路径来循环所述第一处理材料的至少一部分；至少一个混合歧管，所述至少一个混合歧管与所述第一循环设备和第二处理材料源至少进行间歇的流体连通；以及，至少一个流量控制元件，所述至少一个流量控制元件被适配来调整下述的传送中的任何一个：(i)所述第一处理材料到所述至少一个混合歧管，以及(ii)所述第二处理材料到所述至少一个混合歧管。