| 发明名称 | 晶片清洁装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种晶片清洁装置，涉及半导体专用设备晶片清洁装置技术领域。驱动电机通过安装座安装在缸体装置的活塞杆上，驱动电机的轴线和活塞杆运动方向平行，电机轴和转轴连接，转轴的端部通过弹性支架与毛刷连接。本发明能有效解决现有技术中存在的问题，不仅可使毛刷与晶片柔性接触，有效防止损伤晶片，可大大提高清洁质量和效率，可靠性和稳定性较高，而且具有结构简单紧凑、使用方便、寿命长的特点。尤其适用于半导体专用设备上。 | ||
| 申请公布号 | CN101884981A | 申请公布日期 | 2010.11.17 |
| 申请号 | CN201010195939.X | 申请日期 | 2010.06.10 |
| 申请人 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 发明人 | 袁立伟;王仲康;衣忠波 |
| 分类号 | B08B1/04(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B1/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人 | 张贰群 |
| 主权项 | 一种晶片清洁装置，包括驱动电机(1)，其特征在于驱动电机(1)通过安装座(2)安装在缸体装置(14)的活塞杆上，驱动电机(1)的轴线和活塞杆的运动方向相平行，电机轴和转轴(4)连接，转轴(4)的端部通过弹性支架与毛刷(13)连接。 | ||
| 地址 | 065201 河北省三河市燕郊开发区北京东燕郊开发区海油大街20号 | ||