球形凹面上投影平行线图形的激光直写方法及其装置

摘要

本发明涉及一种球形凹面上投影平行线图形的激光直写方法，该方法包括下述步骤：设定垂直轴AA’、第一水平轴CC’、第二水平轴DD’和旋转轴BB’；直写物镜绕第一水平轴CC’每转动到一个设定角度，控制球形工件在绕垂直轴AA’转动的同时也绕第二水平轴DD’转动；在球形工件转动过程中，控制激光快门，使直写物镜焦斑在球形工件凹面上刻划出一条投影水平线；重复该过程直至完成球形工件凹面投影平行线的刻划。本发明能够在球形工件凹面上刻划出投影平行线，将球形工件再旋转90°，重复投影平行线的刻划过程即可在球形工件凹面上生成占空比基本一致的网格图形，使制备该非连续透明导电膜的整流罩从中心至边缘光学透过性能一致。

主权项

一种球形凹面上投影平行线图形的激光直写方法，其特征在于包括下述步骤：(1)设定垂直轴AA’、第一水平轴CC’、第二水平轴DD’和旋转轴BB’；所述垂直轴AA’、第一水平轴CC’、第二水平轴DD’和旋转轴BB’相交于球形工件的球心O，并且第一水平轴CC’与第二水平轴DD’垂直相交，旋转轴BB’与垂直轴AA’之间的夹角为α，0∠α∠90°；(2)直写物镜绕第一水平轴CC’在球形工件的最低点与凹面顶点对应的角度β范围内转动；直写物镜每转动到一个设定角度，控制球形工件在绕垂直轴AA’转动的同时也绕第二水平轴DD’向下转动；当球形工件转至侧立状态时，直写物镜焦斑处于球形工件最低点与凹面顶点的连线上；此时，控制球形工件在绕垂直轴AA’转动的同时也绕第二水平轴DD’向上转动；在球形工件转动过程中，控制激光快门的开启和关闭，使直写物镜焦斑在球形工件凹面上刻划出一条投影水平线；重复该过程直至完成球形工件的凹面顶点与最低点之间投影平行线的刻划；(3)使球形工件绕旋转轴BB’转动180°；(4)直写物镜绕第一水平轴CC’在球形工件的最低点与凹面顶点对应的角度β范围内转动；直写物镜每转动到一个设定角度，控制球形工件在绕垂直轴AA’转动的同时也绕第二水平轴DD’向下转动；当球形工件转至侧立状态时，直写物镜焦斑处于球形工件最低点与凹面顶点的连线上；此时，控制球形工件在绕垂直轴AA’转动的同时也绕第二水平轴DD’向上转动；在球形工件转动过程中，控制激光快门的开启和关闭，使直写物镜焦斑在球形工件凹面上刻划出一条投影水平线；重复该过程直至完成球形工件的凹面顶点与最低点之间投影平行线的刻划。