发明名称 | 一种阴极盘支承装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种阴极盘支承装置,其特征在于包括屏蔽接触套、绝缘柱和底盘;所述屏蔽接触套套在绝缘柱的上部,所述绝缘柱固定在底盘上;另外,在所述屏蔽接触套内壁和绝缘柱之间设有屏蔽间隙。所述屏蔽接触套的下部横截面大于上部横截面形成防溅射段。所述屏蔽接触套的顶部为尖端。所述底盘上设有调节螺钉。该装置具有结构简单,与阴极盘接触处永不打弧和防溅射的保护,工作安全可靠。另外,由于其结构简单,又便于生产,而且成本低廉,因此适于广泛推广。 | ||
申请公布号 | CN201634752U | 申请公布日期 | 2010.11.17 |
申请号 | CN200920288281.X | 申请日期 | 2009.12.21 |
申请人 | 大连海事大学 | 发明人 | 刘伟;刘世永 |
分类号 | C23C8/36(2006.01)I | 主分类号 | C23C8/36(2006.01)I |
代理机构 | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人 | 李洪福 |
主权项 | 一种阴极盘支承装置,其特征在于包括屏蔽接触套(1)、绝缘柱(2)和底盘(4);所述屏蔽接触套(1)套在绝缘柱(2)的上部,所述绝缘柱(2)固定在底盘(4)上;另外,在所述屏蔽接触套(1)内壁和绝缘柱(2)之间设有屏蔽间隙(a)。 | ||
地址 | 116026 辽宁省大连市甘井子区凌海路1号 |