发明名称 一种阴极盘支承装置
摘要 本实用新型公开了一种阴极盘支承装置,其特征在于包括屏蔽接触套、绝缘柱和底盘;所述屏蔽接触套套在绝缘柱的上部,所述绝缘柱固定在底盘上;另外,在所述屏蔽接触套内壁和绝缘柱之间设有屏蔽间隙。所述屏蔽接触套的下部横截面大于上部横截面形成防溅射段。所述屏蔽接触套的顶部为尖端。所述底盘上设有调节螺钉。该装置具有结构简单,与阴极盘接触处永不打弧和防溅射的保护,工作安全可靠。另外,由于其结构简单,又便于生产,而且成本低廉,因此适于广泛推广。
申请公布号 CN201634752U 申请公布日期 2010.11.17
申请号 CN200920288281.X 申请日期 2009.12.21
申请人 大连海事大学 发明人 刘伟;刘世永
分类号 C23C8/36(2006.01)I 主分类号 C23C8/36(2006.01)I
代理机构 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人 李洪福
主权项 一种阴极盘支承装置,其特征在于包括屏蔽接触套(1)、绝缘柱(2)和底盘(4);所述屏蔽接触套(1)套在绝缘柱(2)的上部,所述绝缘柱(2)固定在底盘(4)上;另外,在所述屏蔽接触套(1)内壁和绝缘柱(2)之间设有屏蔽间隙(a)。
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