叠层基板输送装置

摘要

本发明涉及一种叠层基板输送装置，包括：架子；设置于所述架子，用于通过直径大于一定值的辊子输送基板，在所述辊子的轴和所设置的基板间形成一定空间的上部输送机构；设置于所述架子的高端，用于输送基板的至少两个可旋转的第一输送辊；设置于所述架子的低端并可旋转，其直径大于所述第一输送辊的直径，用于从所述第一输送辊接收基板的至少两个第二输送辊；用于使所述第二输送辊同时在所述架子的低端进行前后移动，并可使所述基板沿水平方向移动的移动板；设置于所述架子的一侧，其前端进入所述上部输送机构的所述空间，用于接收/供应基板的缓冲装置；通过所述缓冲装置接收/供应所述基板，以此输送基板的下部输送机构及基板处理装置。

主权项

一种叠层基板输送装置，其特征在于：它包括：其两端的高度不同、并设置成一列的架子；第一输送部，设置在所述架子的指定位置，包括设置于所述架子的高端，用于输送基板的至少两个可旋转的第一输送辊；第二输送部，设置在所述第一输送部的前方，包括设置于所述架子的低端并可旋转，用于从所述第一输送辊接收基板的至少两个第二输送辊；用于使至少两个所述第二输送辊同时在所述架子的低端进行前后移动，并可使所述基板沿水平方向移动的移动板；设置于所述架子的低端，且进入至少两个所述的第二输送辊之间，用于接收/供应基板，并可使该基板沿垂直方向上下移动的缓冲装置；通过所述缓冲装置接收/供应所述基板，并向基板处理单元输送基板的下部输送机构，所述至少两个第二输送辊的直径大于所述第一输送辊的直径，并满足：当基板设置于第二输送辊上时，在基板和用于支持所述第二输送辊的第二旋转轴之间形成一足以使缓冲装置的前端进入的空间；即使第二输送辊的直径变大，所述第二输送部的位置还是低于所述第一输送部的位置，从而适于在水平方向上输送基板。