| 发明名称 |
MULTI-CHAMBER INSTALLATION FOR TREATING OBJECTS UNDER VACUUM, METHOD FOR EVACUATING SAID INSTALLATION AND EVACUATION SYSTEM THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1434896(B1) |
申请公布日期 |
2010.11.17 |
| 申请号 |
EP20020777255 |
申请日期 |
2002.09.28 |
| 申请人 |
OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH |
发明人 |
MUELLER, PETER;ARNDT, LUTZ |
| 分类号 |
F01C21/10;C23C16/44;C23C14/22;C23C14/56;C23C16/54;F04C18/344;F04C23/00;F04C25/02;F04D25/16 |
主分类号 |
F01C21/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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