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发明名称
摘要
申请公布号	KR100994649(B1)	申请公布日期	2010.11.16
申请号	KR20107002353	申请日期	2006.03.08
申请人		发明人
分类号	H01L21/205;H01L21/02;H01L21/31	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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