EMBOSSED ESC AND MANUFACTURING METHOD THEREOF,申请号KR20050126153-传众专利搜索

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发明名称	EMBOSSED ESC AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号	KR100994476(B1)	申请公布日期	2010.11.16
申请号	KR20050126153	申请日期	2005.12.20
申请人		发明人
分类号	H01L21/68	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
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