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发明名称 METHOD FOR PRODUCING MATERIAL OF ELECTRONIC DEVICE AND METHOD FOR PLAZA PROCESSING
摘要
申请公布号 KR100994387(B1) 申请公布日期 2010.11.16
申请号 KR20097009583 申请日期 2002.01.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C8/02;C23C8/34;C23C8/36;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/316 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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