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发明名称 SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号 KR100994663(B1) 申请公布日期 2010.11.16
申请号 KR20087008159 申请日期 2006.09.07
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;C23C14/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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