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发明名称 Chuck and deposition apparatus using the same
摘要
申请公布号 KR100994490(B1) 申请公布日期 2010.11.15
申请号 KR20080033822 申请日期 2008.04.11
申请人 发明人
分类号 C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H05B33/10 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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