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发明名称 EUV PLASMAENTLADUNGSLAMPE MIT FÖRDERBANDELEKTRODEN
摘要
申请公布号 AT486488(T) 申请公布日期 2010.11.15
申请号 AT20070826197T 申请日期 2007.08.29
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 JONKERS, JEROEN;NEFF, JAKOB;PRUEMMER, RALF
分类号 H05G2/00 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
主权项
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