PLASMA IMMERSION IMPLANTATION METHOD USING A PURE OR NEARLY PURE SILICON SEASONING LAYER ON THE CHAMBER INTERIOR SURFACES,申请号KR20107019876-传众专利搜索

发明名称	PLASMA IMMERSION IMPLANTATION METHOD USING A PURE OR NEARLY PURE SILICON SEASONING LAYER ON THE CHAMBER INTERIOR SURFACES
摘要
申请公布号	KR20100120199(A)	申请公布日期	2010.11.12
申请号	KR20107019876	申请日期	2009.01.19
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	LI SHIJIAN;RAMASWAMY KARTIK;HANAWA HIROJI;CHO SEON MEE;GALLO BIAGIO;CHOI, DONG WON;FOAD MAJEED A.
分类号	H01L21/265	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
主权项
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