Heater block having back side cover,申请号KR20030056329-传众专利搜索

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发明名称	Heater block having back side cover
摘要
申请公布号	KR100994073(B1)	申请公布日期	2010.11.12
申请号	KR20030056329	申请日期	2003.08.14
申请人		发明人
分类号	H01L21/68	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
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