| 主权项 |
一种位移驱动机构，包含：一下平台；一上平台，位于该下平台上方；至少一水平位移驱动模组，设置于该下平台并且与该上平台连接而能驱动该上平台相对于该下平台水平位移；一升降驱动模组，包括一升降杆件，可相对于该下平台升降活动地直立穿设于该下平台，且该上平台系可相对于该下平台水平位移地与该升降杆件顶端连接；以及一驱动单元，与该升降杆件动力连接而提供驱动该升降杆件带动该上平台相对于该下平台升降位移的动力。依据申请专利范围第1项所述之位移驱动机构，更包含一可活动连接模组，设置于该升降杆件顶端与该上平台之间并且包括一上滚珠座，包括一位于该上平台上方的上座体以及复数设置于该上座体并且部分外露出该上座体底面而用以与该上平台顶面滚动接触的滚珠；一下滚珠座，包括一位于该上平台下方的下座体以及复数设置于该下座体并且部分外露出该下座体顶面而用以与该上平台底面滚动接触的滚珠；以及一连接杆段，与该升降杆件顶端连接并且穿伸通过该下座体与该上平台而与该上座体连接，且该连接杆段与该下座体连接。依据申请专利范围第2项所述之位移驱动机构，其中，该上平台包括一上平台本体以及一连接板，该上平台本体设有一上下贯穿的第一通孔，该连接板固定于该上平台本体并且遮蔽该第一通孔，且该连接板设有一上下贯穿并且与该第一通孔连通的第二通孔，该上滚珠座的滚珠与该连接板顶面滚动接触，该下滚珠座的滚珠与该连接板底面滚动接触，该连接杆段穿伸于该第一通孔与该第二通孔。依据申请专利范围第1项至第3项其中任一项所述之位移驱动机构，更包含数目与该水平位移驱动模组对应的导杆，每一导杆顶端连接该上平台并且直立且可上下位移地穿设于对应的该水平位移驱动模组。依据申请专利范围第4项所述之位移驱动机构，其中，每一水平位移驱动模组包括一对线性滑轨、一线性马达、一滑块组、一滚珠导螺杆、一顶板以及一衬套，该线性滑轨与该线性马达固定于该下平台，该滑块组滑设于该线性滑轨，该滚珠导螺杆一端与该线性马达连接，另一端与该滑块组连接，该顶板设置于该滑块组，该顶板与该滑块组分别设有对应连通的一贯孔可供该衬套设置于该等贯孔内，该导杆藉由伸入该衬套而穿伸通过该水平位移驱动模组。依据申请专利范围第4项所述之位移驱动机构，其中，该升降驱动模组更包括一导螺杆以及一滑块，该驱动单元为马达，该导螺杆与该马达动力连接，该滑块设置于该导螺杆并且能受该导螺杆驱动而带动该升降杆件上下位移。依据申请专利范围第6项所述之位移驱动机构，包含复数水平位移驱动模组，其中一水平位移驱动模组用以驱动该上平台相对于该下平台沿X轴方向位移，另一水平位移驱动模组用以驱动该上平台相对于该下平台沿Y轴方向位移。一种曝光机，包含：一机台；一台框模组，设置于该机台而可供放置待曝光基板；一曝光光源，设置于该机台而用以对该待曝光基板进行曝光；以及一位移驱动机构，设置于该机台并且位于该台框模组下方并且包括一下平台；一上平台，位于该下平台上方；至少一水平位移驱动模组，设置于该下平台并且与该上平台连接而能驱动该上平台相对于该下平台水平位移；一升降驱动模组，包括一升降杆件，可相对于该下平台升降活动地直立穿设于该下平台，且该上平台系可相对于该下平台水平位移地与该升降杆件顶端连接；以及一驱动单元，与该升降杆件动力连接而提供驱动该升降杆件带动该上平台相对于该下平台升降位移的动力。依据申请专利范围第8项所述之曝光机，其中，该位移驱动机构更包括一可活动连接模组，设置于该升降杆件顶端与该上平台之间并且包括一上滚珠座，包括一位于该上平台上方的上座体以及复数设置于该上座体并且部分外露出该上座体底面而用以与该上平台顶面滚动接触的滚珠；一下滚珠座，包括一位于该上平台下方的下座体以及复数设置于该下座体并且部分外露出该下座体顶面而用以与该上平台底面滚动接触的滚珠；以及一连接杆段，与该升降杆件顶端连接并且穿伸通过该下座体与该上平台而与该上座体连接，且该连接杆段与该下座体连接。依据申请专利范围第9项所述之曝光机，其中，该上平台包括一上平台本体以及一连接板，该上平台本体设有一上下贯穿的第一通孔，该连接板固定于该上平台本体并且遮蔽该第一通孔，且该连接板设有一上下贯穿并且与该第一通孔连通的第二通孔，该上滚珠座的滚珠与该连接板顶面滚动接触，该下滚珠座的滚珠与该连接板底面滚动接触，该连接杆段穿伸于该第一通孔与该第二通孔。依据申请专利范围第8项至第10项其中任一项所述之曝光机，其中，该位移驱动机构更包括数目与该水平位移驱动模组对应的导杆，每一导杆顶端连接该上平台并且直立且可上下位移地穿设于对应的该水平位移驱动模组。依据申请专利范围第11项所述之曝光机，其中，每一水平位移驱动模组包括一对线性滑轨、一线性马达、一滑块组、一滚珠导螺杆、一顶板以及一衬套，该线性滑轨与该线性马达固定于该下平台，该滑块组滑设于该线性滑轨，该滚珠导螺杆一端与该线性马达连接，另一端与该滑块组连接，该顶板设置于该滑块组，该顶板与该滑块组分别设有对应连通的一贯孔可供该衬套设置于该等贯孔内，该导杆藉由伸入该衬套而穿伸通过该水平位移驱动模组。依据申请专利范围第11项所述之曝光机，其中，该升降驱动模组更包括一导螺杆以及一滑块，该驱动单元为马达，该导螺杆与该马达动力连接，该滑块设置于该导螺杆并且能受该导螺杆驱动而带动该升降杆件上下位移。依据申请专利范围第13项所述之曝光机，其中，该位移驱动机构更包括复数水平位移驱动模组，其中一水平位移驱动模组用以驱动该上平台相对于该下平台沿X轴方向位移，另一水平位移驱动模组用以驱动该上平台相对于该下平台沿Y轴方向位移。 |
