| 主权项 |
一种大型基板支撑架，其具备下述元件：框状平台：具有开口部，可保持支撑基板；保持部：设于前述框状平台的开口部；震动吸收装置：依前述保持部顺序及交叉方向设置，设有吸收或衰减因外在及内在因素所引起的前述保持部的震动。如申请专利范围第1项所述之大型基板支撑架，其中前述保持部系以复数并设于前述平台框的开口部内为其特征者。如申请专利范围第1项所述之大型基板支撑架，其中前述保持部系以复数并设成同心圆状，装设于前述平台框的开口部内为其特征者。如申请专利范围第1项所述之大型基板支撑架，其中保持部系以框状平台的开口部中心呈放射状复数设置为其特征者。如申请专利范围第1项至第4项中的任何一项所述之大型基板支撑架，其中前述之震动吸收装置系于上述保持部及框状平台之间连结设置者为其特征者。如申请专利范围第1至第4项中的任何一项所述之大型基板支撑架，其中保持部为复数个，震动吸收装置则连结各保持部使成一直线状配置为其特征者。如申请专利范围第1项至第4项中的任何一项所述之大型基板支撑架，其中保持部为复数个，震动吸收装置系在前述各保持部间或前述框状平台与保持部间至少一个广泛配置为其特征者。如申请专利范围第1项至第4项中的任何一项所述之大型基板支撑架，其中前述震动吸收装置系以柱状形成，其长度长于各保持部的间隔或上述框状平台及保持部间的间隔，并固定于各保持部或上述框状平台及保持部中的至少一个为其特征者。如申请专利范围第1项至第4项中的任何一项所述之大型基板支撑架，其中前述震动吸收装置至少施以封盖或涂布之一种为其特征者。如申请专利范围第1项至第4项中的任何一项所述之大型基板支撑架，其中前述保持部具有吸着固定于基板的吸着装置为其特征者。 |
