| 主权项 |
一种平板移载装置，包含有：一马达，该马达具有一用以将该马达之旋转马力输出之旋转轴；一磁性转子，该磁性转子与该旋转轴连接；至少一磁感应转子，该磁感应转子邻近设置于该磁性转子的位置以相应该磁性转子转动时产生的磁场，并且感应转动；至少一传动轴，该传动轴与该磁感应转子连接，并相应于该磁感应转子之转动；及复数滚轮，该复数滚轮与该传动轴连接。如申请专利范围第1项所述之平板移载装置，其中该马达与一基座连接固定，并且该基座具有一供该马达之旋转轴穿过的贯穿孔。如申请专利范围第2项所述之平板移载装置，其中该基座更具有至少一用以连接该传动轴并固定该传动轴之位置的固定部。如申请专利范围第3项所述之平板移载装置，其中该固定部上具有一供该传动轴穿设连接的轴承。如申请专利范围第1项所述之平板移载装置，其中该磁感应转子分别设置于该磁性转子的一第一方向与一第二方向，该磁性转子藉由磁场变化，感应两组磁感应转子对应旋转。如申请专利范围第1项所述之平板移载装置，其中该马达系为一步进马达。如申请专利范围第1项所述之平板移载装置，其中该复数滚轮系设置在该传动轴之两端。一种平板移载系统，用以移载一基板，包括有：至少一平板移载装置，该平板移载装置具有一马达、一磁性转子、至少一磁感应转子、至少一传动轴以及复数滚轮，该马达具有一旋转轴，将该马达之旋转马力输出，该磁性转子与该旋转轴连接，该磁感应转子邻近设置于该磁性转子的位置，以相应于该磁性转子转动时产生的磁场并感应转动，该传动轴与该磁感应转子连接，并相应于该磁感应转子之转动，该复数滚轮与该传动轴连接，该磁感应转子系透过该传动轴使该复数滚轮相应转动；及一运送架，用以固定该至少一平板移载装置于同一平面上，该平板移载装置上的复数滚轮形成一运送平面，用以移载该基板。如申请专利范围第8项所述之平板移载系统，其中该马达更与一基座连接固定，并且该基座具有一供该马达之旋转轴穿过之贯穿孔。如申请专利范围第8项所述之平板移载系统，其中该基座更具有至少一用以连接该传动轴并固定该传动轴之位置的固定部。 |
