发明名称 探针单元与具有该相同探针单元之探针装置
摘要
申请公布号 TWI333071 申请公布日期 2010.11.11
申请号 TW096111711 申请日期 2007.04.03
申请人 飞而康公司 发明人 申东沅;金昔中
分类号 G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人 黄志扬 台北市中山区长安东路1段23号10楼之1
主权项 一种探针单元,其包括:若干沿一第一方向布置之第一探针接脚;若干沿该第一方向安装于该等第一探针接脚上方且插入该等第一探针接脚之间的第二探针接脚;一用于支撑该等第一探针接脚两端部之第一支承构件;一布置于该第一支承构件上以支撑该等第二探针接脚两端部之第二支承构件;一用于支撑该第一支承构件与该第二支承构件之框架;若干第一固定构件,其用于固定该等第一支承构件与该等第二支承构件至该框架,以便沿一与该第一方向相对之第二方向布置该第一支承构件与该第二支承构件;及若干第二固定构件,其用于固定该第一支承构件与该第二支承构件至该框架,以便沿一与该第一方向及该第二方向相对之第三方向布置该第一支承构件与该第二支承构件。如申请专利范围第1项所述之探针单元,其中该第一支承构件包括一用于支撑每一该等第一探针接脚之一第一端部之第一支架,及一用于支撑与该第一端部相对之每一该等第一探针接脚之一第二端部之第二支架,及该第二支承构件包括一第三支架与一第四支架,该第三支架布置于该第一支架上用以支撑每一该等第二探针接脚之一第一端部,该第四支架布置于该第二支架上用以支撑一与该第一端部相对之每一该等第二探针接脚之第二端部。如申请专利范围第2项所述之探针单元,其中若干用于接收每一该等第一探针接脚之第一端部之第一针脚插槽形成于该第一支架之一表面处,若干用于接收每一该等第一探针接脚之第二端部之第二针脚插槽形成于该第二支架之一表面处,若干用于接收每一该等第二探针接脚之第一端部之第三针脚插槽形成于该第三支架之一表面处,若干用于接收每一该等第二探针接脚之第二端部之第四针脚插槽形成于该第四支架之一表面处。如申请专利范围第2项所述之探针单元,其中一接收槽形成于该框架之一表面处,该接收槽之一宽度比该框架之宽度窄,且其朝该第一方向与该第二方向开口,及一向上之阶梯状部分沿该第二方向形成于该接收槽之一底面处。如申请专利范围第4项所述之探针单元,其中该接收槽之底面包括一第一底板、一放置于该第一底板上之第二底板与一放置于该第二底板上之第三底板;及该框架进一步包括一固定座,该固定座布置于该第二底板与该第三底板之间,用以固定该第一底板,该固定座之一宽度比该接收槽之宽度窄。如申请专利范围第5项所述之探针单元,其中该框架进一步包括若干布置于该固定座两侧之支座,以支撑该第三支架之两端部。如申请专利范围第6项所述之探针单元,其中进一步包括若干被固定至该框架且与该等支座之背面接触之第三固定构件,该第三固定构件使该等支座和该第二底板与该第三底板间之一界面紧密接触。如申请专利范围第7项所述之探针单元,其中相对于该第一方向倾斜之若干固定孔形成于该框架之两侧面,且该等第三固定构件被分别插入该等固定孔内。如申请专利范围第8项所述之探针单元,其中与该等第三固定构件接触之该等支座之背面倾斜。如申请专利范围第6项所述之探针单元,其中进一步包括若干被固定至该框架且与该第三支架之两侧面接触之第三固定构件,该等第三固定构件允许该等支座上之该第三支架沿该第一方向轻微移动。如申请专利范围第5项所述之探针单元,其中该第二支架被布置于该第一底板之上,且该第四支架被布置于该第二支架之上。如申请专利范围第2项所述之探针单元,其中一用于接收该等第一探针接脚之第一端部之第一组合槽沿该第一方向形成于该第一支架之一背面处,及一用于接收该等第一探针接脚之第二端部之第二组合槽沿该第一方向形成于该第二支架之一正面处,该第二支架之一正面沿该第一方向面对该第一支架之背面。如申请专利范围第2项所述之探针单元,其中该第三支架包括一组合杆,该组合杆沿该第一方向形成于该第三支架之一背面处,用以接收该等第二探针接脚之第一端部。如申请专利范围第13项所述之探针单元,其中一用于接收该组合杆之固定槽形成于每一该等第二探针接脚之一端部处。如申请专利范围第2项所述之探针单元,其中该第四支架包括一组合杆,该组合杆沿该第一方向形成于该第四支架之一正面处,用以接收该等第二探针接脚之第二端部。如申请专利范围第15项所述之探针单元,其中一用于接收该组合杆之固定槽形成于每一该等第二探针接脚之另一端部。如申请专利范围第2项所述之探针单元,其中该框架之一顶面包括一第一底板与一比该第一底板高之第二底板,及该框架进一步包括一被布置于该第一底板上之固定座以固定该第一支架,该固定座之一宽度比该框架之宽度窄。如申请专利范围第17项所述之探针单元,其中该框架进一步包括若干布置于该固定座之两侧之支座以支撑该第三支架之两端部。如申请专利范围第18项所述之探针单元,其中进一步包括若干用于固定该等支座至该框架之第三固定构件。如申请专利范围第18项所述之探针单元,其中一与该第三支架之一下部分相对应之阶梯状部分形成于每一该等支座之一表面处。如申请专利范围第17项所述之探针单元,其中一接收槽形成于该第二底板之一表面处,该接收槽之一宽度比该框架之宽度窄,且朝该第一方向与该第二方向开口,用以接收该第二支架与该第四支架。如申请专利范围第2项所述之探针单元,其中若干向该第一方向倾斜之固定孔形成于该框架之两侧面,且该等第一固定构件分别被插入该等固定孔内,且与该第二支架之一背面接触。如申请专利范围第2项所述之探针单元,其中若干固定孔沿该第一方向形成于该框架之两侧面,且该等第二固定构件分别被插入该等固定孔内,且与该第四支架之两侧面接触。如申请专利范围第23项所述之探针单元,其中该第四支架之背面倾斜。如申请专利范围第2项所述之探针单元,其中若干向该第三方向倾斜之固定孔形成于该框架之两侧面,且该等第二固定构件分别被插入该等固定孔内,且与该第四支架之两侧面接触。如申请专利范围第2项所述之探针单元,其中若干对准插槽形成于该等第一、第二、第三与第四支架之表面上,用于相对于该第二方向对准该等第一、第二、第三与第四支架。如申请专利范围第2项所述之探针单元,其中该第一支架或该第二支架可移动地布置于该框架上,以固定该第一支架与该第二支架间之该等第一探针接脚。如申请专利范围第2项所述之探针单元,其中该第三支架或该第四支架可移动地布置于该框架上,以固定该第三支架与该第四支架间之该等第二探针接脚。如申请专利范围第1项所述之探针单元,其中每一该等第一探针接脚包括:一体部分,该体部分具有一沿该第一方向之宽度与一沿该第二方向比该宽度大之长度;一向上之倾斜接触部分,该接触部分自该体部分之一上端部延伸;及一连接部分,该连接部分自该体部分之另一上端部垂直延伸,且沿一垂直方向弯曲,该连接部分具有一向上弯曲之上端部。如申请专利范围第1项所述之探针单元,其中每一该等第二探针接脚包括:一体部分,该体部分具有一沿该第一方向之宽度与一沿该第二方向比该宽度大之长度;一接触部分,该接触部分沿与该体部分之一纵向大体上相同之一方向自该体部分之一端部延伸,该接触部分具有一向上弯曲之上端部;及一连接部分,该连接部分沿一与该体部分之纵向大体上相同之一方向自该体部分之另一端部延伸,该连接部分具有一向上弯曲之上端部。如申请专利范围第1项所述之探针单元,其中进一步包括若干沿该第三方向被插入该框架之第三固定构件,且其与该等被插入该框架内之该等第一固定构件接触。一种探针装置,其包括:一用于接收一物体之外壳;一位于该外壳内用于固定该物体之台阶;一邻近该台阶上之该物体布置之探针单元,该探针单元包括:i)若干沿一第一方向布置之第一探针接脚;ii)若干沿该第一方向安置于该等第一探针接脚上方且插入该等第一探针接脚间之第二探针接脚;iii)一用于支撑每一该等第一探针接脚两端部之第一支承构件;iv)一布置于该第一支承构件上以支撑每一该等第二探针接脚之两端部之第二支承构件;v)一用于支撑该第一支承构件与该第二支承构件之框架;vi)若干用于固定该第一支承构件与该第二支承构件至该框架之第一固定构件,以沿一与该第一方向相对之第二方向布置该第一支承构件与该第二支承构件;与vii)若干用于固定该第一支承构件与该第二支承构件至该框架之第二固定构件,以便沿一与该第一方向及第二方向相对之第三方向布置该第一支承构件与该第二支承构件;及一测试单元,其用于提供电信号至该等第一探针接脚与该等第二探针接脚,以检验该物体是否正常。
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