| 主权项 |
一种配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，所述装置包括：照明源，用以生成光学测试讯号，所述光学测试讯号具有定义为与控制讯号相关的可变性能；探测卡，用以将所述光学测试讯号通过曝光孔径并到达形成于与所述探测卡连接的晶圆上的所选择的影像感测器，所述探测卡包括处于所述曝光孔径旁边的参考影像感测器且用以生成回应于所述光学测试讯号的光学反馈讯号；控制单元，用以接收所述光学反馈讯号，并生成回应于所述光学反馈讯号的控制反馈讯号；以及作业单元，用以接收所述控制反馈讯号，并生成所述控制讯号。如申请专利范围第1项所述之配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，其中所述探测卡还包括电子探针，用以连接与所述已选择的影像感测器相关的电性垫，以利于所述已选择的影像感测器的测试控制和测试资料讯号之间的通讯。如申请专利范围第1项所述之配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，其中所述参考影像感测器包括处于所述曝光孔径旁边的多个参考影像感测器。如申请专利范围第1项所述之配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，其中所述照明源包括：光源，用以发出光线；光孔径，用以有选择地让所述光线通过；其中，所述控制讯号用以改变所述光孔径的大小，使得所述光学测试讯号的强度随着所述光孔径的大小而变化。如申请专利范围第4项所述之配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，其中所述控制讯号包括用于所述光孔径的所述控制讯号以及用于所述光源的输入讯号。如申请专利范围第5项所述之配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，其中所述输入讯号是固定电压。如申请专利范围第5项所述之配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，其中所述输入讯号是可变电压，用以进一步控制所述光源的强度。如申请专利范围第4项所述之配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，其中所述照明源还包括多个透镜，用以使通过所述光孔径的所述光线达成准直作用，使得所述光学测试讯号包括凖直光线。如申请专利范围第4项所述之配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，其中所述照明源还包括多个光学滤光片，用以过滤所述光源所发出的光线。如申请专利范围第1项所述之配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，其中所述控制单元包括资料库，用以储存订正表，所述订正表包括多个参考值，每一参考值对应于所述光学测试讯号性能中已定义的变化。如申请专利范围第10项所述之配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，其中所述光学测试讯号的性能包括强度、频率、波长、极化以及调变中的至少一个。如申请专利范围第10项所述之配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，其中所述控制单元还包括：控制器，用以存取所述资料库；以及补偿器，用以生成所述反馈控制讯号，以回应于来自于所述光学反馈讯号的反馈值与参考值之间的比较结果。如申请专利范围第12项所述之配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，其中所述补偿器包括数位比较电路、类比式比较电路或者在所述控制器上例行运行的软体中的一种。如申请专利范围第1项所述之配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，所述装置还包括：转换器，用以接收来自于所述参考影像感测器的类比光学反馈讯号，并将所述的类比光学反馈讯号转换为数位光学反馈讯号，以及将所述的数位光学反馈讯号提供给控制单元。一种配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，所述装置包括：照明源，用以经由探测卡将光学测试讯号提供给影像感测器，所述光学测试讯号具有由形成于参考影像感测器与控制单元之间的反馈环路所定义的可变性能，所述参考影像感测器与所述探测卡连接，所述控制单元连接在所述参考影像感测器与所述照明源之间。如申请专利范围第15项所述之配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，其中所述参考影像感测器用以生成光学反馈讯号以回应于光学测试讯号，其中所述控制单元包括：控制器，用以生成反馈控制讯号以回应于所述光学反馈讯号；以及作业单元，用以生成控制讯号以回应于所述反馈控制讯号，其中所述控制讯号被施加到所述照明源，以改变所述光学测试讯号的性能。如申请专利范围第16项所述之配置为测试多个影像感测器用的光学测试装置，其中所述光学测试讯号的性能是强度。一种测试形成于晶圆上的影像感测器的方法，其中所述晶圆与探测卡相关，以利于所述影像感测器的测试控制讯号和测试资料讯号之间的通讯，以及在与光学测试讯号相关下测试所述影像感测器，其中所述方法包括：采用所述光学测试讯号，以照亮处于所述探测卡上的参考影像感测器；以及改变所述光学测试讯号的性能，以回应于由参考影像感测器生成的光学反馈讯号。如申请专利范围第18项所述之测试形成于晶圆上的影像感测器的方法，其中所述光学测试讯号的性能是强度，以及所述方法还包括：将所述光学反馈讯号与参考值进行比较，并基于比较的结果，生成控制讯号；以及将所述控制讯号施加到生成所述光学测试讯号的照明源上。如申请专利范围第19项所述之测试形成于晶圆上的影像感测器的方法，还包括：在记忆体中储存着参考值的订正表；从所述订正表选择参考值，并生成与所述已选择的参考值相关的所述控制讯号。如申请专利范围第20项所述之测试形成于晶圆上的影像感测器的方法，还包括：回应于所述光学反馈讯号和所述参考值之间的比较结果，将参考值重新写入所述订正表中。一种操作光学测试装置的测试形成于晶圆上的影像感测器的方法，用以对形成于晶圆上的多个影像感测器进行晶圆位准测试，所述方法包括以下步骤：控制照明源的作业，用以生成光学测试讯号，所述光学测试讯号具有定义为与储存在记忆体中的订正表参考值资料相关的性能；检测与探测卡有关的所述光学测试讯号的性能并生成相对应的光学反馈讯号，所述探测卡与晶圆相关；将所述光学反馈讯号与所述订正表中的至少一个参考值进行比较，以及回应于所述比较结果，将至少一个参考值重新写入到所述订正表中。如申请专利范围第22项所述之操作光学测试装置的测试形成于晶圆上的影像感测器的方法，其中所述光学测试讯号的性能被参考影像感测器所检测，所述参考影像感测器具有实质上与所述多个影像感测器相似的配置；以及其中，所述参考影像感测器设置在所述探测卡上，使得所述光学测试讯号一致地照亮所述参考影像感测器以及一个从所述多个影像感测器中选择的影像感测器。如申请专利范围第22项所述之操作光学测试装置的测试形成于晶圆上的影像感测器的方法，还包括：先将所述至少一个参考值重新写入到所述订正表中，然后再以光学方式测试与所述光学测试讯号相关的所述多个影像感测器。如申请专利范围第22项所述之操作光学测试装置的测试形成于晶圆上的影像感测器的方法，其中控制所述照明源的作业包括：生成与所述订正表中的至少一个参考值相关的控制讯号；以及将所述控制讯号施加到所述照明源中的光源上，以可变地控制所述光学控制讯号的性能。一种操作光学测试装置的方法，用以测试形成于晶圆上的多个影像感测器，所述方法包括如下步骤：在记忆体中，定义多个参考值；经由探测卡，用光学测试讯号照亮从所述多个感测器中选择的影像感测器，所述光学测试讯号具有定义为与所述多个参考值相关的可变性能；生成对应于所述光学测试讯号的反馈值，所述光学测试讯号照亮所述已选择的影像感测器；将所述反馈值与所述多个参考值中的一个值进行比较，以决定差异值；在决定差异值的基础上，在记忆体中重新定义所述多个参考值中的至少一个参考值，并补偿与至少一个重新定义的参考值相关的所述光学测试讯号；以及以光学方式测试与所述光学测试讯号相关的所述已选择的影像感测器。如申请专利范围第26项所述之操作光学测试装置的方法，其中在补偿所述光学测试讯号后立即以光学方式测试所述已选择的影像感测器。如申请专利范围第26项所述之操作光学测试装置的方法，其中在以光学方式测试所述已选择的影像感测器之前，所述方法还包括：生成更新的反馈值，所述更新的反馈值与所述已补偿的光学测试讯号相关，并将所述更新的反馈值与所述多个参考值的至少一个进行比较，以决定差异值；然后仅仅在所述更新的反馈值和所述多个参考值中的至少一个值两者之间没有差异时，才以光学方式测试所述已选择的影像感测器。如申请专利范围第26项所述之操作光学测试装置的方法，其中生成所述反馈值包括：接收与所述探测卡相关的参考影像感测器中的所述光学测试讯号；以及从所述光学反馈讯号中导出所述反馈值。如申请专利范围第29项所述之操作光学测试装置的方法，其中所述性能是强度以及所述方法还包括：生成与所述多个参考值的至少一个参考值相关的控制讯号，并将所述控制讯号施加到用以生成所述光学测试讯号的照明源上，所述光学测试讯号的强度随所述控制讯号而变化。一种配置成控制光学测试装置的作业用的程式，所述光学测试装置被配置成可测试多个处于晶圆上的影像感测器，所述晶圆与光学测试讯号相关，所述光学测试讯号经由与所述晶圆相关的探测卡到达所述多个影像感测器中所选择的影像感测器，在与所述光学测试装置相关的控制器上可执行所述程式，以执行一种方法，所述方法包括：控制用以生成所述光学测试讯号的照明源的作业，所述光学测试讯号具有定义为与储存在记忆体中的参考值相关的性能，所述储存器与所述控制器相关；检测与所述探测卡相关的所述光学测试讯号的性能，并生成相对应的光学反馈讯号；将所述光学反馈讯号与所述参考值进行比较，以回应于所述比较结果来重新定义所述参考值。如申请专利范围第31项所述之配置成控制光学测试装置的作业用的程式，其中所述光学测试讯号的性能被参考影像感测器所检测，所述参考影像感测器具有实质上与所述多个影像感测器相似的配置；以及其中，所述参考影像感测器设置于所述探测卡上，使得所述光学测试讯号一致地照亮所述参考影像感测器以及所述已选择的影像感测器。如申请专利范围第32项所述之配置成控制光学测试装置的作业用的程式，还包括：先重新定义所述订正表，然后再以光学方式测试与所述光学测试讯号相关的所述多个影像感测器。如申请专利范围第32项所述之配置成控制光学测试装置的作业用的程式，其中控制所述照明源的作业包括：生成与所述参考值相关的控制讯号；将所述控制讯号施加到所述照明源中的光源上，以可变地控制所述光学控制讯号的性能；控制所述照明元件，以将所述光学测试讯号一致地投射到所述参考影像感测器以及所述已选择的影像感测器上；在所述参考影像感测器中生成所述光学反馈讯号。一种探测卡，用以测试形成于晶圆上的多个影像感测器，所述探测卡包括：曝光孔径，用以让光学测试讯号通过并到达从多个影像感测器中选择的影像感测器；以及至少一个处于所述曝光孔径附近的参考影像感测器，使得所述至少一个参考影像被所述光学测试讯号和所述已选择的影像感测器一致地照亮。如申请专利范围第35项所述之探测卡，还包括：从所述探测卡上延伸出的多个电子探针，并用以连接与所述已选择的影像感测器相关的电性垫。如申请专利范围第35项所述之探测卡，其中所述至少一个参考影像感测器包括多个空间上相互分开、并处于所述曝光孔径周围的参考影像感测器，使得所述多个参考影像感测器中的每一个都被所述光学测试讯号和所述已选择的影像感测器一致地照亮。 |
