发明名称 Siliciumcarbidhalbleitervorrichtung und Herstellungsverfahren dafür
摘要
申请公布号 DE102009056453(A1) 申请公布日期 2010.11.11
申请号 DE200910056453 申请日期 2009.12.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP. 发明人 TARUI, YOICHIRO
分类号 H01L21/336;H01L21/265;H01L29/739;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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