| 发明名称 |
BAFFLE MIT EINER STEUERUNG DER ABLAGERUNG VON VERUNREINIGUNGEN MIT EINEM KAPAZITAETSDIFFERENZ - DRUCKWANDLER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE602004029353(D1) |
申请公布日期 |
2010.11.11 |
| 申请号 |
DE200460029353T |
申请日期 |
2004.05.10 |
| 申请人 |
MKS INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
LISCHER, JEFFREY D.;TRAVERSO, ROBERT |
| 分类号 |
G01L19/06;C23C16/00;G01L9/00;G01L9/12;H01L21/00 |
主分类号 |
G01L19/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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