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发明名称
Verfahren zur Zucht von GaN-Einkristallen
摘要
申请公布号
DE602006017195(D1)
申请公布日期
2010.11.11
申请号
DE200660017195T
申请日期
2006.03.31
申请人
DOWA HOLDINGS CO. LTD.;EPIVALLEY CO. LTD.;FURUKAWA CO. LTD.;MITSUBISHI CHEMICAL CORP.;TOHOKU TECHNO ARCH CO. LTD.;WAVESQUARE INC.
发明人
YAO, TAKAFUMI;CHO, MEOUNG-WHAN
分类号
C30B29/38;C23C16/34;H01L21/205;H01L33/00;H01L33/12;H01L33/32
主分类号
C30B29/38
代理机构
代理人
主权项
地址
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