DEVICE AND METHOD FOR ANGULARLY RESOLVED SCATTERED LIGHT MEASUREMENT

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur winkelaufgelösten Streulichtmessung, umfassend eine Beleuchtungsvorrichtung mit einer Lichtquelle (1) zum Beleuchten einer Probe (6) mit Licht unter einem nicht verschwindenden Einfallswinkel (? i) sowie einen Detektor (7) zum Erfassen eines an der Probe gestreuten Anteils des Lichts, eine Auswerteeinheit (13) zum Auswerten von Ausgangssignalen des Detektors, und einen Absorber (8), wobei die Beleuchtungsvorrichtung ein erstes sammelndes Linsensystem (2) und ein zweites sammelndes Linsensystem (5) sowie eine zwischen diesen Linsensystemen (2, 5) angeordnete Lochblende (3) beinhaltet, die so angeordnet sind, dass das von der Lichtquelle (1) ausgehende Licht durch das erste sammelnde Linsensystem (2) auf die Lochblende (3) fokussiert wird und ein spekular von der Probe (6) reflektierter oder ungestreut durch die Probe (6) transmittierter Anteil des von der Lochblende (3) ausgehenden und durch das zweite sammelnde Linsensystem (5) tretenden Lichts auf den Detektor (7) fokussierbar ist, der Detektor (7) eine CMOS-Sensormatrix beinhaltet und der Absorber (8) so angeordnet ist, dass ein von dem Detektor (7) reflektierter Anteil des von der Probe (6) spekular reflektierten oder ungestreut durch die Probe (6) transmittierten und auf den Detektor fokussierten Anteils des Lichts auf den Absorber (8) trifft. Die Erfindung betrifft ferner ein entsprechendes Verfahren zur winkelaufgelösten Streulichtmessung.