SUBSTRATE LOADING MECHANISM, SUBSTRATE TRANSFER METHOD, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND COMPUTER READABLE STORAGE MEDIUM,申请号KR20090045538-传众专利搜索

发明名称	SUBSTRATE LOADING MECHANISM, SUBSTRATE TRANSFER METHOD, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND COMPUTER READABLE STORAGE MEDIUM
摘要
申请公布号	KR100993441(B1)	申请公布日期	2010.11.09
申请号	KR20090045538	申请日期	2009.05.25
申请人		发明人
分类号	H01L21/677;B65G49/06;G02F1/13;H01L21/683	主分类号	H01L21/677
代理机构		代理人
主权项
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