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发明名称
PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号
KR100993442(B1)
申请公布日期
2010.11.09
申请号
KR20087027623
申请日期
2007.05.08
申请人
发明人
分类号
H01L21/3205;G09F9/00
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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