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发明名称 Spectroscopic Ellipsometer with a Microspot Module
摘要
申请公布号 KR100992839(B1) 申请公布日期 2010.11.08
申请号 KR20080092199 申请日期 2008.09.19
申请人 发明人
分类号 G01J4/04;G01J3/447;G01N21/21 主分类号 G01J4/04
代理机构 代理人
主权项
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