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发明名称 COOLING APPARATUS FOR CHUCK PLATE OF WAFER PROBER
摘要
申请公布号 KR100992591(B1) 申请公布日期 2010.11.08
申请号 KR20080090305 申请日期 2008.09.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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