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发明名称 SELECTING ONE OR MORE PARAMETERS FOR INSPECTION OF A WAFER
摘要 Computer-implemented methods, computer-readable media, and systems for selecting one or more parameters for inspection of a wafer are provided.
申请公布号 WO2010091307(A3) 申请公布日期 2010.11.04
申请号 WO2010US23396 申请日期 2010.02.05
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION;LEE, CHRIS;GAO, LISHENG;LUO, TAO;WU, KENONG;TORELLI, TOMMASO;VAN RIET, MICHAEL J.;DUFFY, BRIAN 发明人 LEE, CHRIS;GAO, LISHENG;LUO, TAO;WU, KENONG;TORELLI, TOMMASO;VAN RIET, MICHAEL J.;DUFFY, BRIAN
分类号 H01L21/66;G01N21/88 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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