| 摘要 |
<p>Ein mikromechanischer Sensor mit einem Substrat (5) und zumindest einer an dem Substrat (5) angeordneten und sich relativ zu dem Substrat (5) bewegenden Masse (6) dient zur Ermittlung von Bewegungen des Sensors auf Grund einer dabei auftretenden Beschleunigungs- und/oder Corioliskraft. Die Masse (6) und das Substrat (5) und/oder zwei sich zueinander bewegende Massen sind mittels zumindest einer Biegefedereinrichtung (1) für eine relative Drehbewegung miteinander verbunden. Die Biegefedereinrichtung (1) weist zur Verbesserung ihrer linearen Federcharakteristik bei der Drehbewegung mehrere, insbesondere zwei im Wesentlichen parallel zueinander verlaufende Federbalken (2) sowie an zumindest einem, vorzugsweise jedem Federbalken (2), mindestens einen Mäander (3) auf.</p> |
